Название: Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур
Автор: В. В. Батавин, Ю. А. Концевой, Ю. В. Федорович
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1985
Cтраниц: 264
Формат: pdf
Размер: 12 мб
Язык: русский

Рассмотрены физические основы методов измерений электрофизических и структурных параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев, а также освещены вопросы их практической реализации. Анализируются причины возникновения погрешностей, даются рекомендации по ограничению и устранению источников ошибок измерений. Приводятся сведения о контрольно-измерительных средствах лабораторного и промышленного применения и их характеристиках. Для инженерно-технических работников, занимающихся контролем качества и исследованием физических свойств полупроводниковых материалов и структур. Несмотря на солидный возраст издания, книга не потеряла своей актуальности и в настоящее время в связи с практически полным отсутствием современной отечественной литературы аналогичного уровня. В особенности она может быть полезна преподавателям и студентам при изучении дисциплин, связанных с полупроводниковым материаловедением.