Название: MEMS: Fundamental Technology and Applications
Автор: Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski
Издательство: CRC Press
Серия: Devices, Circuits, and Systems (Book 15)
ISBN: 1466515813
Год: 2013
Язык: английский
Страниц: 478
Формат: pdf
Размер: 64.33 MB

За последние десять лет в отрасли микроэлектромеханических систем (МЭМС) произошел бурный рост. Их применение варьируется от акселерометров и гироскопов, используемых в автомобильной безопасности до высокоточных встроенных генераторов на кристалле для эталонных генераторов и мобильных телефонов. Книга "МЭМС: Фундаментальные технологии и применение" объединяет новаторские исследования в области технологии микроэлектромеханических систем и исследует разнообразный набор новых применений, которые поддерживает эта технология. В книге представлены материалы ведущих экспертов из промышленности и академических кругов со всего мира. Авторы объясняют теоретическую основу и предоставляют практические идеи применения технологии. От исторической эволюции наномикросистем до последних тенденций...