Название: Оборудование полупроводникового производства
Автор: Блинов И.Г., Кожитов Л.В.
Издательство: Машиностроение
Год: 1986
Cтраниц: 280
Формат: pdf
Размер: 102 мб
Язык: русский
Изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для студентов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Технология специальных материалов электронной техники» и «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».
Автор: Блинов И.Г., Кожитов Л.В.
Издательство: Машиностроение
Год: 1986
Cтраниц: 280
Формат: pdf
Размер: 102 мб
Язык: русский
Изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для студентов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Технология специальных материалов электронной техники» и «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».
Скачать Блинов И.Г., Кожитов Л.В. - Оборудование полупроводникового производства
Все материалы, представленные на нашем сайте, Вы сможете скачать по ссылкам различных бесплатных файлообменников совершенно бесплатно!
Инструкции, поясняющие, как надо качать бесплатно с файлообменников смотреть тут
Регистрация на нашем сайте позволит Вам добавлять свои книги, а также комментировать опубликованные книги, общаться с нашими авторами.
Для этого мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.